修理事例
Repair case
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基板類・各種電源・モーター・モータードライバー・パソコン・シーケンサー・インバータなどについて「どのメーカーに修理の依頼をすればいいのかわからない」「サポート、保守期間が終了した機器を見てほしい」などでお困りのお客様はどんなことでもご相談ください。
修理品品種 | メーカー名 | パーツ番号 | 修理品名 |
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その他制御ユニット | TOKYO ELECTRON | 1180-000247-13 | B.O.H CONTROLLER |
基盤類 | TOKYO ELECTRON | 1181-000572-14 | 基板 |
基盤類 | TOKYO ELECTRON | 1181-000906-11 | DDC9900R用電源ボード |
基盤類 | TOKYO ERECTRON | 1181-000906-11 | DDC9900R用電源ボード |
その他制御ユニット | Axcelis | 1182890 | ファイナルエネルギーマグネットコントローラー |
基盤類 | その他 | 119479C | 基板 |
基盤類 | FURON | 11954 11955 | 基板 |
基盤類 | その他 | 11A0051-A5 | 中継器 |
その他制御ユニット | SEN | 11A0423 | ホールプローブコントローラー |
その他制御ユニット | Axcelis | 11A0423-B1 | コントローラー |
その他制御ユニット | SEN | 11A0423-C | ホールプローブコントローラー |
各種電源 | SUMITOMO EATON NOVA | 11A1582 | アーク電源 |
各種電源 | SUMITOMO EATON NOVA | 11A1583 | POWER SUPPLY |
各種電源 | SEN | 11A1583 004731373 | カソード電源(EMS電源) |
その他制御ユニット | SUMITOMO EATON NOVA | 11A3216-E | DISC HCIG CONTROLLER |
その他制御ユニット | ALCATEL | 11B0891-B | MDPコントローラー |
各種電源 | SUMITOMO EATON NOVA | 11B1393 | フィラメント電源 |
その他制御ユニット | SUMITOMO EATON NOVA | 11B1503-D | CHAMBER HCIG CONTROLLER |
その他制御ユニット | SEN | 11B3797-A | ホールプローブコントローラー |
その他制御ユニット | SUMITOMO EATON NOVA//GRANVILLE-PHILLIPS HELIX TECHNOLOGY | 11B4404-C//- | VACUUM GAUGE CONTROLLER |
その他制御ユニット | SUMITOMO EATON NOVA//GRANVILLE-PHILLIPS HELIX TECHNOLOGY | 11B4404-C//360501-000-P1 | VACUUM GAUGE CONTROLLER |
その他制御ユニット | SUMITOMO EATON NOVA | 11B5874 | ROBOT CONTROLLER |
その他 | SUMITOMO EATON NOVA | 11C0380 | CHAMBER HCIG CONTROLLER |
各種電源 | LAMBDA | 11C2646-A1 | カソード PS |
各種電源 | SUMITOMO EATON NOVA | 11C2731-B | POWER SUPPLY |
その他制御ユニット | SEN | 11C4729 REV.D2 | END STATION1 GP CONTROLLER |
その他制御ユニット | SEN | 11C4730 REV.C2 | END STATION2 GP CONTROLLER |
各種電源 | SEN | 11C7638 | POWER SUPPLY |
各種電源 | SUMITOMO EATON NOVA | 11C7638-C | POWER SUPPLY |
その他制御ユニット | SEN corporation | 11D2332-01 | DISK HCIG CONTROLLER |
液晶モニター | SUMITOMO EATON NOVA | 11D2332-04-A | DISK HCIG CONTROLLER |
その他 | SUMITOMO EATON NOVA | 11D2332-06 | DISK HCIG CONTROLLER |
その他制御ユニット | SEN corporation | 11D2332-06-A | TERMINAL HCIG CONTROLLER |
その他制御ユニット | SEN corporation | 11D2332-07 | TERMINAL HCIG CONTROLLER |
その他制御ユニット | SUMITOMO EATON NOVA | 11D2332-07-A | CHAMBER HCIG CONTROLLER |
その他制御ユニット | SEN corporation | 11D2332-10 | TERMINAL HCIG CONTROLLER |
その他制御ユニット | SEN | 11D2715-02 REV.E | PROFILER CONTROLLER |
その他制御ユニット | SEN | 11D3097 REV.C | TERMINAL BEAM MONITOR CONTROLLER |
その他制御ユニット | SEN | 11D3097-CM | TERMINAL BEAM MONITOR CONTROLLER |
各種電源 | SUMITOMO EATON NOVA | 11D4541-02-C-CM | POWER SUPPLY |
その他制御ユニット | SEN | 11D4882 REV.J | MULTI FUNCTION I/F |
その他 | SUMITOMO EATON NOVA | 11D4882-F | MULTI FUNCTION I/F |
その他制御ユニット | SEN | 11D6183-03-CM | CHUCK/SLIT CONTROLLER |
各種電源 | SEN | 11E1780 | POWER SUPPLY |
その他制御ユニット | SEN | 11F5604-01 Rev A2 | HALL PROBE CONTROLLER |
その他制御ユニット | RIKA KOGYO | 11PH-020RA-SC-1-4 | THYRISTOR PC UNIT |
その他制御ユニット | SUMITOMO EATON NOVA | 11S5687-E1 | CHAMBER HCIG CONTROLLER |
その他制御ユニット | SUMITOMO EATON NOVA | 11S5687-F1 | DISC HCIG CONTROLLER |
各種電源 | SUMITOMO EATON NOVA | 11S8126 | EMS POWER SUPPLY |
その他 | ELECTRONIC MEASUREMENTS | 11S8583 | 電源 |